簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="氧化銦鎵鋅"


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    反應式濺鍍法之不同陶金靶材及氧氣流量對氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜的影響
    • /109/ 碩士
    • 研究生: 沈倢汝 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以含氮化物粉體的方式將N摻雜在IGZO前驅粉體中,並利用本實驗的真空熱壓機壓製而成N摻雜IGZO (IGZNO)靶材,經濺鍍獲得以N原子取代O原子的位置獲得N摻雜IGZO薄膜,期望藉由…
    • 點閱:208下載:2

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    陶金靶材之反應式濺鍍製備氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜及其性質研究
    • /106/ 碩士
    • 研究生: 黃郁凱 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以本實驗室自行壓製陶金(陶瓷+金屬)靶材,採用RF反應式濺鍍法製備N摻雜的IGZO薄膜,以N取代O的位置,期望提高IGZO薄膜內的氮含量來提升載子遷移率及提升電性穩定性。實驗中,觀察在不同氧氣…
    • 點閱:281下載:5

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    施體與受體摻雜對氧化銦鎵鋅半導體薄膜特性之研究
    • /109/ 博士
    • 研究生: 楊天賜 指導教授: 郭東昊
    • 點閱:260下載:0
    • 全文公開日期 2026/02/16 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/02/16 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/02/16 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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